、赛微电子300456

现价：21.82元，市值：160.28亿

主营业务：惯性导航系统、卫星导航产品的研发、生产与销售；

亮点：公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务；

2、晶方科技603005

现价：21.2元，市值：138.48亿

主营业务集成电路的封装测试业务；

亮点：荷兰光刻机制造商ASML为公司参与并购的荷兰Anteryon公司的最主要客户之一；

3、华特气体688268

现价：84.95元，市值：102.23亿

主营业务：以特种气体的研发、生产及销售为核心，辅以普通工业气体和相关气体设备与工程业务；

亮点：国内光刻气龙头;中国特种气体国产化的先行者；

4、彤程新材603650

现价：34.96元，市值：208.4亿

主营业务：精细化工材料的研发、生产、销售和相关贸易业务；

亮点：公司全资子公司彤程电子受让科华微电子33.70%的股权，是国内唯一拥有荷兰ASML曝光机的光刻胶公司，也是国内唯一一家拥有高档光刻胶自主研发及生产实力的国家级高新技术企业；

5、炬光科技688167

现价：107.58元，市值：94.79亿

主营业务：激光行业上游的高功率半导体激光元器件（“产生光子”）、激光光学元器件（“调控光子”）的研发、生产和销售；

6、南大光电300346

现价35.76元，市值：194.43亿

主营业务：先进前驱体材料、电子特气、光刻胶及配套材料三类半导体材料产品研发、生产和销售；

亮点：公司自主研发的ArF光刻胶产品成功通过客户的使用认证，成为通过产品验证的第一只国产ArF光刻胶。